روش‌های آنالیز صنعتی

یکی از مهمترین مشخصات تابش الکترونیکی، پراش است که موجب منحرف شدن تابش الکترومغناطیس به هنگام عبور از یک روزنه و یا لبه می‌شود. شایان ذکر است ک اثرات پراش اشعه با کاهش ابعاد روزنه بیشتر می‌شود. در این روش، با استفاده از پراش نوترون، اشعه ایکس و یا الکترون و همچنین اثر برخورد آن‌ها با ماده! می‌توان ابعاد کریستالی ماده هدف را مورد سنجش قرار داد. در نظر داشته باشید که هر یک از نوترون‌ها و الکترون‌ها، از خواص موجی مختص به خود برخوردار بوده و میزان طول موج آن‌ها نیز تابعی از انرژی آن‌ها می‌باشد. لازم به توضیح است که هر یک از این پراش‌ها، از نظر برخی خواص همچون عمق نفوذ در ماده، متفاوت می‌باشند. به این صورت که عمق نفوذ نوترون از عمل نفوذ الکترون و اشعه ایکس بیشتر بوده و همچنین عمق نفوذ اشعه ایکس از الکترون بیشتر می‌باشد. روش‌های سنتز  XRD  و XRF را می‌توان نمونه‌ای از روش‌های آنالیز صنعتی مبتنی بر پراش دانست.